X熒光光譜儀是利用初級(jí)X射線光子或其他微觀粒子激發(fā)待測(cè)物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生熒光(次級(jí)X射線)而進(jìn)行物質(zhì)成分分析的儀器。當(dāng)一束高能粒子(射線)在與原子的相互作用下，如果其能量大于或等于原子某一軌道電子的結(jié)合能時(shí)，可以將該軌道的電子逐出，形成空穴。此時(shí)原子處于非穩(wěn)定狀態(tài)，在短時(shí)間內(nèi)，軌道的外層電子向空穴躍遷，使原子恢復(fù)至穩(wěn)定狀態(tài)。在外層電子躍遷的過程中，兩個(gè)殼層之間的能量差就以特征X射線的形式溢出，即產(chǎn)生了X熒光。探測(cè)系統(tǒng)測(cè)量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量或者波長(zhǎng)，然后儀器軟件將探測(cè)系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。
 

　　X熒光光譜儀主要分為波長(zhǎng)色散型(WD-XRF)和能量色散型(ED-XRF)兩種：
 

　　波長(zhǎng)色散型(WD-XRF)：
 

　　激發(fā)出的熒光足夠強(qiáng)，測(cè)量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。
 

　　靈敏度較高，所測(cè)數(shù)據(jù)不存在“灰色地域”。
 

　　需將被測(cè)材料粉碎壓制成樣本后測(cè)才準(zhǔn)確，適用于材料廠等需要準(zhǔn)確測(cè)量的場(chǎng)所。
 

　　能量色散型(ED-XRF)：
 

　　不破壞被測(cè)的材料或產(chǎn)品，操作簡(jiǎn)便。
 

　　可以同時(shí)測(cè)定樣品中幾乎所有的元素，分析速度快。
 

　　對(duì)鉻和溴是總量測(cè)定，可能產(chǎn)生一定的測(cè)量誤差，但通常不影響使用。
 

　　X熒光光譜儀的使用注意事項(xiàng)：
 

　　1.樣品準(zhǔn)備：確保待測(cè)樣品干燥、無油污，避免雜質(zhì)干擾測(cè)量結(jié)果。對(duì)于不規(guī)則樣品，可使用壓片機(jī)壓制成規(guī)定形狀的樣品片。
 

　　2.開機(jī)與預(yù)熱：按照儀器說明書正確開機(jī)，并進(jìn)行預(yù)熱，使儀器達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)。
 

　　3.儀器設(shè)置：根據(jù)待測(cè)樣品的性質(zhì)和分析需求，設(shè)置合適的測(cè)量模式、管電壓、管電流等參數(shù)。
 

　　4.測(cè)量與記錄：將樣品放置在測(cè)量區(qū)域，啟動(dòng)測(cè)量程序。測(cè)量過程中，注意觀察儀器顯示的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)和光譜圖，確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。測(cè)量完成后，及時(shí)記錄測(cè)量數(shù)據(jù)和結(jié)果。